首次公開：世界最神秘的半導體生產設計基地，向我們打開了大門

前沿科技 3年前 (2022) 虛像

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走進神秘的英特爾以色列晶圓廠，目睹一枚芯片的誕生

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文｜杜晨編輯｜VickyXiao 題圖來源 | 英特爾

從設計，到生產，到測試、調整、再生產，到最后的出廠和面市，一枚小小的芯片，要經歷一個復雜而又漫長的流程。

對于這些流程，許多半導體從業者都能如數家珍。然而，極少有人能夠真正進入全世界最頂級、最高機密的晶圓工廠，以及裝備了最尖端技術設備的芯片測試實驗室，以最近的距離，親眼目睹一枚芯片的誕生全過程。

沒跟你夸張：別說客戶進不去，就連在全球十二萬員工的英特爾自己，也只有1-2%左右的員工能夠出入它的芯片生產車間；99%的員工甚至沒有機會和晶圓拍一張合影。

而在今天，難掩自豪的硅星人終于可以說，我們不僅和 Raptor Lake 晶圓（即將發布的13代酷睿處理器）合過影，還是穿著無塵車間的"兔子服"：

圖片來源：硅星人 via 英特爾

在這張照片被拍下的10分鐘前，我剛剛從英特爾以色列 Fab 28 晶圓工廠出來。這家可以和"芯片技術創新"劃等號的全球頂級半導體公司，在前不久終于對來自十多個國家的分析師，首次敞開了它久富盛名的晶圓廠大門。

圖片來源：硅星人 via 英特爾

別嫌棄我們沒見過世面：對于任何科技從業者，這都稱得上是"一生難得"的機會。就連 YouTube 科技類頂流大號 Linus Tech Tips，在參觀之后都高呼："I can die now."（注：這里的 die 是個雙關，還有晶粒的意思。）

好東西沒道理獨享。接下來，沖一杯咖啡，開一包零食，跟硅星人共同走進英特爾以色列 Fab 28 晶圓廠以及 IDC 芯片測試實驗室，一探究竟吧。

/ 進入工廠 /

Fab 28 是英特爾歷史上建立的第一座非美國本土晶圓廠，于1996年落成，坐落在以色列迦特鎮 (Kiryat Gat)。

巴以地區飽受戰亂，一般人會感覺在這里建廠不太安全。然而真實情況是：考慮到人才儲備、政策優勢、軍工科技的滴漏效應等因素，英特爾早在1974年就來這里建立了以色列設計中心 IDC（后改名為以色列研發中心 IDC）。而把工廠和研發中心放在一起，是符合邏輯的做法。

后來，英特爾在耶路撒冷建立了 Fab 8，再后來又在迦特鎮建立了 Fab 28。直到今天，該工廠仍然是酷睿處理器的主要生產地，對于英特爾意義非凡。

Fab 28 主體辦公樓圖片來源：杜晨/硅星人

Fab 28 無塵車間所在的大樓遠景圖片來源：杜晨/硅星人

而正如前文提到，在所有英特爾員工當中，能夠進入到工廠生產環境，甚至無塵車間的少之又少。這不，剛一進入大樓，沒走幾步，就看到了"保護區域"(protected area) 的警示牌，意思是這些區域的辦公室和工作環境可能高度涉密：

Fab 28 無塵車間所在的大樓遠景圖片來源：杜晨/硅星人

在正式進入 Fab 28 晶圓廠無塵車間之前，我們首先見到了 Daniel Benatar，英特爾全球芯片生產的總負責人。他介紹了這次在 Fab 28 能夠親眼見到的芯片生產關鍵過程，包括離子注入 (implant)、擴散 (diffusion)、光刻、蝕刻 (etch)、薄膜、平坦化 (planarization)、受控折疊芯片連接 (C4) 等

Daniel Benatar 講解晶體管電路設計的變化圖片來源：硅星人 via 英特爾

/ 第一站: 無塵化 /

參觀正式開始，我所在的一組的"導游"是 Fab 28 工廠經理 Oren Cohen。

在他的帶領下，我們在辦公樓里來回穿梭，上樓下樓幾次，終于來到了潔凈室/無塵車間 (Cleanroom) 的入口。這里有一道安檢門，只有得到授權的員工才可以刷卡進入。

圖片來源：Linus Tech Tips

為了避免攜帶污染物物，所有人在進入無塵車間之前都必須穿上外號"兔子服"(bunny suit) 的防護服。然而在穿上兔子服之前，我們首先要戴上鞋套、頭套、胡須套，和布手套。

這個區域并不是完全無塵，但已經采用了和無塵車間相同的加壓單向空氣流通系統：它的氣壓比外面辦公區域更高，高度凈化過的空氣自上方吹入，從下方吸走，這樣一切可能漂浮在空中的污染物都可以被盡快捕捉。

先要戴好手、鞋、頭套，才可進入下一區域穿防護服圖片來源：硅星人 via 英特爾

然后我們進入下一個區域，穿上正經的兔子服。這個區域的氣壓又比前一個更高，結果就是距離真正的無塵車間越近，空氣越干凈，污染物越少。兔子服一共四件：頭罩、連體衣、鞋罩和乳膠手套。同行者也要互相幫助檢查穿戴覆蓋是否完整。

圖片來源：硅星人 via 英特爾

但實際上兔子服保護的并不是我們，而是車間里的設備和晶圓/芯片本身。

這些生產資料對于污染極其敏感，任何顆粒物都有可能廢掉一整張硅片。整個 Fab 28 一年364天7×24小時不間斷工作，產量極大。如果環境不夠清潔，哪怕一分鐘的污染暴露就足以累計上百萬美元的損失。進而為了清潔和維修工作而暫時停工，會進一步擴大損失。

這也是為什么英特爾對于清潔的要求如此之高：每立方米顆粒物數不得高于1（手術室要求只有3萬左右）。

甚至這個區域內使用的所有工具，都必須實現無塵化。工作人員"沒收"了我的筆記本，然后發給了我一套專門在無塵車間里使用的紙和筆……因為它們采用的是特殊紙張和油墨，不容易產生靜電和纖維、顆粒物脫落。

圖片來源：杜晨/硅星人

/ 到處都是機器人 /

穿好兔子服，完成無塵化之后，我們終于正式進入了 Fab 28 的無塵車間。這里的氣壓是整棟樓里最高的。

從畫面中你也許能夠看到一點"泛黃"，這是因為入口區域直接和車間的光刻 (Litho) 部門相連。一般的白光其實是多種光的復合，會對晶圓造成影響，所以光刻部門區域都會采用純粹無影響的黃光：

圖片來源：硅星人 via 英特爾

剛一走進車間，我們驚訝地發現：就在頭頂不到一米的上方，一臺臺大福 (Daifuku) 機器人正在沿著軌道來回穿梭。

這些機器人攜帶的黑色"貨物"叫做 FOUP——前開式統一處理盒 (Front Opening Unified Pod)。

FOUP 的作用，是在工廠的各個區域和部門，成百上千臺各種功能的設備之間運輸寶貴的晶圓。

機器人用機械臂抓住一臺 FOUP 圖片來源：硅星人 via 英特爾

每臺 FOUP 最大容量25張晶圓圖片來源：硅星人 via 英特爾

下面兩張圖是對機器與 FOUP 接口處的拍攝，可以看到雙方的機械臂可以互相配合，安全地抓取和放置晶圓，確保在運輸過程中對晶圓品質造成的影響最小化：

圖片來源：硅星人 via 英特爾

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圖片來源：硅星人 via 英特爾

FOUP 所運行的軌道，在英特爾內部稱為"自動超級高速"（ASH），遍布整個車間。在任何一個"路口"抬頭看，一眼都能看到至少7、8臺機器人。整個工廠到底有多少臺 FOUP？英特爾并沒有回答，只是透露有"上千"臺。

值得注意的是，FOUP 不僅可以在無塵和有塵區域中間運行，英特爾還正在 Fab 28 旁邊修建一座更大規模的晶圓廠 Fab 38，屆時兩座工廠之間也會用 ASH 軌道進行連接，一張硅片可能先在28進行離子注入，又被飛速運到38完成光刻，再運回來……

圖片來源：硅星人 via 英特爾

/ 無塵車間逛一遍 /

整個車間面積達到了4個美式橄欖球場，裝滿了各種機器，完成各式任務。僅我肉眼能夠看到的設備里，來自應材、ASML、東京電子等全球五大半導體設備商的產品，在這里已經齊聚一堂。

在參觀過程中，工作人員一再提醒我們：不要亂按按鈕，不要靠在機器上面，甚至連摸都不讓摸……這是因為芯片生產的精度要求極高，任何意外觸碰都有可能產生振動，甚至機器移位，導致生產缺陷或機器故障。事實上，包括 Fab 28 在內，英特爾在全球的數十家晶圓廠都坐落在地殼運動相對更穩定的地區，車間內一些高精密的機器也直接安裝在抗震板上面。

EMO按鈕，按完就emo……其實它是緊急手動超控的意思圖片來源：Linus Tech Tips

前面看完了天上飛來飛去的 FOUP 之后，下一站我們來到了缺陷應對部門。

只要工廠在運轉，缺陷應對部門就不下班。他們的工作是一年364天×24小時不間斷應付生產過程中出現的各種缺陷，評估缺陷的原因，如果是遇到過的話，就利用已經制定的應對手段立即處理。如果是前所未有的缺陷，那么現場工程師會把各項數據記錄下來，立即組織團隊研究原因，盡快研究開發出新的應對手段。

電子顯微工程師 Shai Perets 向我們介紹，這也是為什么缺陷應對團隊被稱為"夢之隊"，因為這項工作的全稱是 DREAM - defect reduction evaluation and methods （缺陷降低評估和方法）——不僅檢測缺陷，還要設計開發避免缺陷、提高良率的方法和技術。

圖片來源：硅星人 via 英特爾

整個廠內的工程師團隊工作方式也比較特別，通常分為現場和遠程兩組。以"夢之隊"為例，有人在樓下車間現場收集數據、完成操作；樓上辦公區的指揮中心里，還有一個專門的辦公室，里面坐滿了一群對芯片誕生全流程都足夠了解的"全能型"工程師，負責缺陷分析工作。

英特爾把這些現場工程師比喻為"宇航員"，而樓上的工程師則是"休斯頓地面控制中心"。

缺陷應對部門指揮中心的團隊圖片來源：硅星人 via 英特爾

下一站，我們來到了光刻部門。

在車間現場，我們看到了應目前市面已知最先進的36nm極限分辨率的光刻機。工程師 Batz Kleiz 告訴我，光刻部門主要采用的設備來自 ASML、東京電子等企業。每臺機器的成本都高達數千萬美元，而考慮到車間的面積就達到了4個橄欖球場……可想而知這座工廠有多值錢。

一家晶圓廠的光刻部門圖片來源：硅星人 via 英特爾

一組流水線包括光刻、涂膜、顯影等多種功能機器，晶圓在這些機器之間來回傳遞。大部分情況下機器之間可以直接在密閉接口完成交換，有時候則要用到前面提到的 FOUP 對晶圓進行"長距離轉移"。

Kleiz 表示，經過多年的光刻生產流程優化，現在流水線的出片速度非常之快。盡管具體數字無法透露，整個 Fab 28 光刻工藝每分鐘出片已經達到了"四位數"。

一臺設備內部的機械臂正在轉移晶圓圖片來源：硅星人 via 英特爾

英特爾還想演示一下，當機器出了故障到底該怎么辦。

英特爾以色列有一個特殊人才計劃"Ofek Darom"，不看教育背景和出身，只要好學、真誠、有驅動力，哪怕是農民也可以"轉職"芯片工程師。但是這樣也帶來了一個問題，就是新手每次"出外勤"還要老師傅帶新人，不僅麻煩，學習成本也高。

而在最近幾年，英特爾在包括 Fab 28 在內的全球許多工廠里都開始用上了 AR 教學。新手工程師戴上 HoloLens 頭顯，可以直接在現場觀看 AR 教程，里面會教你每種工具放在工具箱什么位置，某個螺絲應該擰多少圈，按鈕先按哪個后按哪個等等。

這些 AR 教程和工具，工程師可以隨時隨地自己編寫。英特爾表示自從采用了 AR 技術來輔助培訓之后，員工上手的速度快了很多。目前僅在無塵車間里就有至少150名來自于"Ofek Darom"計劃的工程師，只用三年時間就完成了訓練，能夠正常獨立完成各項工作。

圖片來源：Linus Tech Tips

因為機器實在太多了，長得又都差不多，工作人員發現在車間里特別容易迷路，而且有些維修工作非常緊急，精神高度集中，反而會找錯機器，造成不必要的損失。

于是，除了給車間里的每一條路，每一個路口，每一臺機器都進行了編號之外，英特爾還給機器加上了【顏色+動物】的視覺標識，比如"藍蝎子"、"紅犀牛"、"綠斑馬"，這樣一來有效降低了工程師在緊張工作的時候出錯的概率。

圖片來源：硅星人 via 英特爾

整個參觀的無塵車間部分，到這里告一段落。再給大家放幾張車間里的照片吧，畢竟一般人很難進去：

圖片來源：硅星人 via 英特爾

英特爾對降低缺陷提高質量的追求，可以被下面這句話所體現：Every die wants to live——每一枚晶粒都想活下來。

圖片來源：Linus Tech Tips

下圖可以注意地面的綠色帶孔地板，整個無塵車間包括配套區域采用的都是加壓單向空氣流通：清潔無塵的空氣從上方噴出，從地板吸走，越接近無塵車間氣壓越大。

這個系統也是一年365天24小時運轉，每20秒就可以把整個車間的空氣全都置換一遍。

圖片來源：硅星人 via 英特爾

工作人員假裝擦拭設備，其實因為整個區域太干凈，完全用不著。圖片來源：硅星人 via 英特爾

設備內鏡頭，記錄芯片誕生過程中的部分工藝圖片來源：英特爾

圖片來源：硅星人 via 英特爾

晶圓廠不同區域之間的員工走道圖片來源：硅星人 via 英特爾

走出了無塵車間，我們把進來時的流程倒著走一遍，脫掉一身的防護裝備。這一趟不是很熱，但是有點憋，主要是防護服、口罩、眼鏡、乳膠手套都不透氣，因為儀器工作要求車間里空調又不能開太冷（實感28°C）。

所以終于出來脫掉兔子服的時候，整個人呼吸都更順暢了——這也讓我由衷欽佩那些一整年的每天大部分時候都要呆在車間里的英特爾員工……

值得注意的是，FOUP 不僅可以在無塵和有塵區域中間運行，英特爾還正在 Fab 28 旁邊旁邊修建 Fab 38，屆時軌道將會把兩座工廠串在一起，FOUP 和機器人都可以來回穿行。

/ 眺望 Fab 38 /

從車間一出來，緊接著我們就被帶到了旁邊的停車樓樓頂。這里正好可以看到旁邊正在建設中的 Fab 38 工地。

圖片來源：硅星人 via 英特爾

Fab 38，代號"Sparrow"，是英特爾在 Fab 28 的旁邊修建的一座新晶圓廠，面積差不多（原話"還是4個美式橄欖球場"），但整體技術水平更加先進，耗資超過10億美元。

由于 Fab 38 采用了特殊的房頂設計，需要一座極其巨大的起重機才能夠吊起組成房頂的一節鋼架。

于是英特爾找來了比利時起重巨頭 Sarens，在 Fab 38 工地上組裝一臺 SGC 系列巨型起重機。這將是目前為止全球第二大起重機，吊鉤載重達到了驚人的2850噸。（第一大在慕尼黑，客戶也是英特爾）僅為了組裝這臺起重機都要用到4臺塔吊，花費至少一個季度。

圖片來源：硅星人 via 英特爾

而且整個工程實在太大，需要的水泥太多，以至于英特爾直接在工地旁邊修建了自己的水泥廠。

圖片來源：硅星人 via 英特爾

Fab 28 代表的是英特爾的今天，而 Fab 38 將會代表這家芯片巨頭的未來。

落成啟用后，Fab 38 預計將主要采用更新的 RibbonFET + PowerVia 技術來取代"過時"的 FinFET 晶體管工藝，用于生產 Intel 4、3、20A 等未來制程產品，并且成為近兩年公司力推的代工服務戰略 IDM 2.0 的基地之一，從而更好地服務亞洲和歐洲的代工客戶。

/ IDC 芯片測試實驗室 /

上世紀70年代美國半導體人才嚴重短缺，英特爾召回了公司早期員工、EPROM 技術的發明者多夫·福羅曼 (Dov Frohman)，滿足了他返回故土以色列創辦高科技研究中心的夙愿，讓他在海法創辦了 IDC。最初 D 字代表設計 (design)，后來全面升級為研發 (development)。

IDC 大樓圖片來源：硅星人 via 英特爾

這次我的以色列行程，除了 Fab 28 之外的另一站就是位于 IDC 的芯片測試實驗室。對于英特爾來說，芯片測試并不是從產線上隨機抽個樣，裝到主板上看下能不能開機——整個測試流程非常復雜，要求嚴苛，而且該公司的指標是"每一枚出廠的芯片都必須經過測試"（流程不盡相同）。

為此英特爾在 IDC 大樓內修建了一座巨大的、迷宮一般的芯片測試實驗室，包括開機、驗證、游戲、跑分、外設兼容、極端環境穩定性等多項測試內容。甚至當芯片出現故障的時候，這里還有一個神秘的"芯片手術室"，有一組身份對外保密的工程師在里面，對芯片進行納米級微創手術……

另外在前面提到的 IDM 2.0 戰略之下，英特爾還為包括微軟、戴爾、聯想等在內的 Windows 設備品牌提供測試服務，這些測試工作也是在 IDC 的實驗室環境下進行的。

這些測試工作不僅由 IDC 員工完成，每次有新一代芯片問世時，來自全球各地的設計師、工程師都會參與。

一只貓在大樓門口睡覺圖片來源：杜晨/硅星人

IDC 走廊圖片來源：硅星人 via 英特爾

接下來正式進入芯片測試實驗室。我們的第一站是開機房 (power-on room)。

簡單來說，芯片設計師首先做出紙面設計，然后交到晶圓廠"打樣"，花費幾周到幾個月不等的時間生產出 ES1（工程師樣本）芯片。出廠之后，測試樣品的第一環節就是開機。

圖片來源：硅星人 via 英特爾

然后是驗證實驗室 (validation lab)。在這里，英特爾會進一步對芯片的各項子系統（集成顯卡、邏輯、內存、連通性、兼容性）進行深入的驗證測試。

由于英特爾需要在這里運行數百甚至上千臺測試機，整個驗證實驗室的占地面積也很大。這樣做的原因是測試工作不能隨便抽幾張芯片進行，必須實現規?；?。

圖片來源：硅星人 via 英特爾

驗證實驗室圖片來源：硅星人 via 英特爾

圖片來源：硅星人 via 英特爾

驗證測試環節會采用一些市面在售的硬盤、內存、顯卡等。但為了更好地測試芯片對于還未普及的新技術的兼容性，工作人員也會自主設計一些高度定制化的主板、PCIe 模擬卡、USB 外設模擬設備等。

比如，測試用的主板就不是市售的，而是英特爾自主設計，名為"參考驗證平臺" (RVP)，里面的功能和配置都可以通過遠程遙控來實現，省的工程師還要跑來跑去進行調試。

再比如下圖中的這張看起來有點像顯卡的東西：其實它是第一臺采用 PCIe 5.0 的設備，是英特爾的測試工程師為了測試新芯片（包括12和即將發布的13代酷睿）的 PCIe 5.0 兼容性，而專門自己設計的 FPGA（由 Altera 生產）。

PCIe 5.0 測試用 FPGA 圖片來源：硅星人 via 英特爾

你可以把這張卡看成是一個"超級模擬器"，它能夠模擬顯卡、存儲、內存、網絡等各種各樣的設備，但它更重要的作用是監控并記錄測試對象芯片對于 PCIe 5.0 設備的控制性能表現。并且由于它是一臺 FPGA，工程師可以輕松地使用 DIP 開關以及重新編程的方式來快速修改它的功能和性能——也即調節測試當中的變量。

除了這張 FPGA 卡之外，英特爾還自主開發了很多靈活調節的測試裝備。比如測試視頻輸出，CPU 集成顯卡需要支持多顯示器，但是在實驗室里每臺試驗臺都裝一堆顯示器太占地方了，于是英特爾開發了一個像是 U 盤一樣的裝置，能夠模擬多臺顯示器插入的狀態，直接插在主板上就行了。

下面這個東西也是英特爾自己攢出來的，專門測試各種 USB-C 接口的性能。大家知道 C 口支持的 USB 版本、傳輸協議、功能非常多，相當混亂，買錯線/轉接頭是常有的事。而英特爾希望能夠確保芯片在盡可能多的情況下設備都能夠正常工作，于是設計了這么一個能夠模擬各種傳輸協議、菊花鏈等情況。

圖片來源：Linus Tech Tips

以及下圖紅色管道的裝置：這并不是什么 CPU 風扇/AIO 之類的東西，它正式的名字是液壓氣動冷卻系統 (HPCS)，也可以叫熱管 (thermal head)，作用是模擬各種可能出現的溫度變化情況，比如冷啟變熱、熱啟變冷、急熱急冷等，從而確保最終芯片在各種情況下都能夠保持可靠性能。

圖片來源：硅星人 via 英特爾

既然是芯片測試實驗室，如果測出了問題該怎么辦？

答案當然是送去檢修了。而這些最重要的工作，都在地下的 debug 實驗室完成。

最后，我們來到了 debug 實驗室。這里的工程師的任務是根據樓上匯報的問題找到問題究竟出在在哪里，確認原因，并且試圖通過各種不同的方式來進行修復，然后將修復結果交給設計師，讓他們去重新修改芯片的設計。

一位 debug 工程師告訴我，按理來說，如果自己的設計師同事都在認真無誤地工作，他們應該是失業的……不過現實情況并非如此，在指甲蓋大小的一塊晶粒上，可能要分到幾十甚至上百設計師，每人負責一個區塊。而在區塊之間，很可能因為電路的順序搞錯了，而導致芯片無法正常工作，"在我們這再正常不過了。"

而且，一年到頭出 bug 的概率還是挺小的，所以這支 debug 工程師團隊也并不大（當天在辦公室里的就五個人）。

麻雀雖小，五臟俱全。debug 部門擁有我在整個芯片測試實驗室里見到的最酷的裝備。

圖中右側的 LADA 機器，能夠用高功率激光改變芯片工作原理圖片來源：硅星人 via 英特爾

首先是下面這臺機器，它的名字叫做 LADA，全稱"激光輔助期間改變"(laser-assisted device alteration）。比方說 debug 團隊發現了芯片中的某根晶體管出現了問題，想要驗證一下修改建議是否有效——只需要把芯片放到這臺機器下方，用超高精度和高功率的激光對芯片的指向部位進行照射，就可以修改那根晶體管的屬性，從而改變芯片的工作方式。